การตรวจวัดอัตราการไหลของลมหรือ Airflow test สามารถทำได้โดยการตรวจวัดปริมาณลมต่อหน่วยของเวลา (Airflow volume) หรืออัตราเร็วของลม (Airflow velocity) ซึ่งในการเลือกใช้วิธีตรวจวัดนั้นจะขึ้นกับความเหมาะสม และชนิดของห้องสะอาดนั้นๆ รวมถึงข้อกำหนดของผู้ใช้งานด้วย ชนิดของเครื่องมือที่ใช้ในการตรวจวัดอัตราการไหลของลมสามารถแบ่งได้ดังนี้
          1. Vane anemometer เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดความเร็วลมที่มีหน้าตาคล้ายกังหันลม ซึ่งลมที่ไหลผ่านอุปกรณ์จะทำให้ใบพัดหมุน ความเร็วรอบในการหมุนของใบพัดจะถูกเปลี่ยนเป็นความเร็ว

   2. Thermal anemometer เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดความเร็วลมโดยวัดผลกระทบต่ออุณหภูมิที่เกิดขึ้นจากลมผ่านอุปกรณ์วัดอุณหภูมิ (Thermal sensor)

 3. Pitot static tube เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดความเร็วลม โดยอาศัยความดันที่เกิดขึ้นภายในอุปกรณ์เมื่อนำไปตรวจวัดความเร็วลม

การตรวจวัดปริมาณลม (Air supply volume test)

          สำหรับการตรวจวัดปริมาณลมจะสามารถทำได้โดยการคำนวนจากความเร็วลมที่ตรวจวัดได้จากอุปกรณ์ต่างๆ ดังสมการ ต่อไปนี้

 นอกจากนี้ในการตรวจวัดลมอาจใช้อุปกรณ์ที่เรียกว่า Airflow Hood ครอบหัวจ่ายลมภายในห้องสะอาด

ปริมาณลมที่ได้จะเป็นหน่วยปริมาตรต่อเวลา (CFM หรือ CMH) ปริมาณลมที่ตรวจวัดได้สามารถนำมาคำนวน (Air change per hour) ดังสมการนี้

วิธีการตรวจวัดปริมาณลมหรือ Air change จะใช้สำหรับการตรวจวัดห้องสะอาดแบบ Non – unidirectional airflow โดยห้องสะอาดที่มี Air change สูงจะทำให้ปริมาณฝุ่นน้อยลง

การตรวจวัดความเร็วลม (Air velocity test)