Cleanrooms Types and Occupancy state (รูปแบบและสถานะต่างๆ ของห้องสะอาด)
8/7/2565
ห้องสะอาดสามารถแบ่งตามรูปแบบของการไหลของอากาศตามมาตรฐาน ISO 14644-4 ได้ดังนี้
(a) แบบลมทิศทางเดียว (Unidirectional Airflow) - เป็นระบบลมที่มีลักษณะทิศทางที่ชัดเจนทิศทางเดียว จาก final filtered air supply ไปสู่ air return inlets โดยตรง โดยห้องสะอาดระบบนี้สามารถเรียกได้อีกว่าเป็นแบบ Laminar flow ระบบลมนี้ส่วนใหญ่จะเป็นใช้กับห้องสะอาดระดับ ISO 5 ขึ้นไป
b) แบบลมหลายทิศทางหรือปั่นป่วน (Non - unidirectional Airflow) - เป็นระบบลมที่มีการจ่ายออกมาจากหัวจ่ายลมหรือ final filter ที่ติดตั้งตามจุดต่างๆ ในห้อง โดยในการออกแบบจะกำหนดให้ลมมีทิศทางที่กระจายไปทั่วห้องแล้วจึงเข้าสู่ air return inlets ซึ่งลักษณะลมในรูปแบบนี้อาจเรียกได้ว่าเป็นแบบ Conventional หรือ Turbulently-ventilated ระบบลมนี้ส่วนใหญ่จะเป็นใช้กับห้องสะอาดระดับ ISO 5 ลงมา ซึ่งมีความสามารถในการควบคุมการปนเปื้อนที่น้อยกว่าแบบแรก โดยระดับความสะอาดของห้องจะสามารถเพิ่มได้ด้วยการเพิ่มปริมาณอากาศและจำนวนของหัวจ่ายลมหรือ final filte
c) แบบผสมระหว่าง a) และ b) (Mixed Airflow) - เป็นระบบลมที่มีการใช้งานที่มีการประยุกต์จากสองแบบข้างต้น โดยจะเป็นระบบลมแบบ Non - unidirectional แต่มีจุดหรือพื้นที่ที่ต้องควบคุมเป็นพิเศษเพื่อลดการปนเปื้อนที่ใช้ระบบลมแบบ Unidirectional อีกที
สำหรับสภาพการใช้งานต่างๆ ของห้องสะอาดตามมาตรฐาน ISO 14644-1 นั้นสามารถแบบได้ดังนี้
การกำหนดสภาพการใช้งานนั้นได้ถูกนำมาใช้ในการกำหนดเงื่อนไขต่างๆ ของระหว่างผู้ออกแบบห้องสะอาด ผู้ใช้งานหรือลูกค้า รวมถึงผู้ตรวจสอบด้วย โดยปกติในการตรวจสอบห้องสะอาดก่อนการใช้งานจริงจะทำการตรวจสอบในสถานะ at-rest และการตรวจวัดแบบ monitoring จะเป็นการตรวจวัดในสถานะ operational
สำหรับมาตรฐานของ PICs นั้นได้มีการกำหนดการตรวจวัดปริมาณฝุ่นสำหรับระดับความสะอาดต่างๆ ที่สถานะ at-rest และ operational ตังตาราง